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依托在線監測設備：EDI 超純水設備通常配套電阻率在線監測儀器，可實時顯示出水電阻率數值，若監測數據持續低于設備正常運行時的標準范圍(如常規工業用超純水電阻率多要求≥10MΩ?cm)，可直接判斷電阻率下降。
結合離線檢測驗證：定期用經過校準的便攜式電阻率測試儀抽取設備出水樣檢測，對比在線監測數據與離線檢測結果，若兩者均顯示數值低于標準，或離線檢測確認數據異常，可明確電阻率下降。
關聯設備運行狀態：若發現膜堆壓差增大、電極電壓異常，或預處理單元(如濾網、活性炭)失效，結合水質監測數據，可輔助判斷因進水污染、膜堆性能衰減等導致電阻率下降。
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